Immer schön ein Topic zur Zeit [img]http://www.fb18.de/gfx/22.gif[/img] Ich bin gerade auf der Suche, wie die Metallisierung im Planarprozess so funktionierte. Irgendwas mit Unterdruck lässt sich aus den Unterlagen noch erkennen, mehr gibt Netz und Unterlagen leider nicht her. Irgendwer mit einem guten Gedächtnis im Haus? [img]http://www.fb18.de/gfx/21.gif[/img]

Ich bin gerade auf der Suche, wie die Metallisierung im Planarprozess so funktionierte.

Man lässt Metall auf den Wafer abscheiden - und ätzt dann per Maske
den Teil weg, den man nicht braucht. Sollte IMHO doch reichen.
Ich hoffe nicht, dass vdH in der Prüfung diesen Vorgang noch genauer
beschrieben haben will.

Irgendwas mit Unterdruck lässt sich aus den Unterlagen noch erkennen, mehr gibt Netz und Unterlagen leider nicht her. Irgendwer mit einem guten Gedächtnis im Haus? [img]http://www.fb18.de/gfx/21.gif[/img]

*im Buch nachguck*
Der Vollständigkeit halber:
Bei den Beschichtungsverfahren unterscheidet man PVD- und CVD-Verfahren:

* physical vapor depostion (PVD): das abzuscheidene Material wird
physikalisch (z.B. durch Erwärmung) in die Gasphase gebraucht, das
sich dann auf dem Wafer kondensiert. Z.B. Verdampfen von Metall.
Hier wird Unterdruck verwendet.

* chemical vapor deposition (CVD):
Naja, das abzuscheidene Material wird mit Hilfe eines chemischen Verfahrens auf den Wafer aufgebracht.
http://en.wikipedia.org/wiki/Chemical_vapor_deposition

Super, danke. Also merke ich mir dass da gasförmiges Metall sich ablagert, das reicht dann hoffentlich [img]http://www.fb18.de/gfx/28.gif[/img]

das reicht dann hoffentlich [img]http://www.fb18.de/gfx/28.gif[/img]

Ich weiss nicht … [img]http://www.fb18.de/gfx/16.gif[/img]
Wenn ich mir so die Gprots anschaue, dann hackt vdH z.B. richtig auf
dem LIGA-Verfahren rum. IIRC, dann wurde LIGA in der VL nur kurz
erwähnt, aber nicht beschrieben, wie es funktioniert.
Bin ich froh, wenn meine RAM-Muendliche vorbei ist …

LIGA hat aber keine Metallisierung, nur Galvanisierung